技術(shù)編號：6890774
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于容納微機械系統(tǒng)(MICROMECHANICAL SYSTEM)的 裝置和方法。背景技術(shù)微機械系統(tǒng)(微系統(tǒng))的容納(housing)或封裝(encapsulation) 能夠用獨立器件和包括多個器件的晶片來執(zhí)行。微機械系統(tǒng)常常具有可移 動的機械結(jié)構(gòu)，本發(fā)明關(guān)心使用晶片的微系統(tǒng)的封裝，特別是需要和/或 期望的相對大的空穴以便通過微機械結(jié)構(gòu)的自由移動保證無錯的功能的 系統(tǒng)。為了確保微機械系統(tǒng)或MEMS (微機電系統(tǒng))器件的長壽命，可移動 的部件...
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