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具有減少耦合的高填充系數(shù)傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6888687

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本發(fā)明主要涉及數(shù)字射線照相成像,尤其涉及具有在數(shù)據(jù)電極和傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)之 間提高了填充系數(shù)和減小了電容耦合的成像陣列。背景技術(shù)數(shù)字射線照相成像面板使用獨立傳感器的陣列從閃爍介質(zhì)(scintillating medium)中獲取圖像,這些傳感器按照行列矩陣排列,這樣每個傳感器提供圖像 數(shù)據(jù)的單個像素。在這些裝置中,經(jīng)常會使用氫化非晶硅(hydrogenated amorphous silicon) (a-SiH)來形成光電二極管和薄膜晶體管(TFT)開關(guān)。圖IA顯...
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