技術(shù)編號：6881680
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型是有關(guān)于一種金屬光罩盒，特別是有關(guān)于一種金屬光罩盒 零件的鎖固方式。背景技術(shù)近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅晶圓 (silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上...
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