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納米線發(fā)光器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6877137

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本發(fā)明涉及一種納米線(nanowire)發(fā)光器件,具體地說,涉及一種采用半導(dǎo)體納米線的新型發(fā)光器件及其制造方法。背景技術(shù) 通常,使用如圖1所示的化合物半導(dǎo)體外延層,將半導(dǎo)體發(fā)光器件構(gòu)造成PN結(jié)結(jié)構(gòu)。也就是說,氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件10包括按其順序?qū)臃e在基板11上的第一導(dǎo)電型氮化物層14、多量子阱結(jié)構(gòu)的活性層(有源層)15、和第二導(dǎo)電型氮化物半導(dǎo)體層。而且,第一電極18連接至第一導(dǎo)電型氮化物層14,而第二電極19連接至第二導(dǎo)電型氮化物半導(dǎo)體層17。第一導(dǎo)電型氮...
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