技術編號：6876982
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術 集成電路(IC)在現(xiàn)代半導體起到非常重要的作用。集成電路的發(fā)展已經(jīng)使得現(xiàn)代社會充滿先進的電子技術。集成電路的應用非常廣泛，并且它們的重要性從便攜電話、數(shù)字電視到相機中的閃存芯片影響了我們的每一天生活。這些集成電路一般形成于硅襯底或晶片上，其可以包括經(jīng)過用于不同材料制成的大范圍堆疊層的結構處理的有源半導體器件，這允許其具有存儲能力。最近，在現(xiàn)代半導體技術中，集成電路已經(jīng)朝小器件大存儲量的方向發(fā)展。在半導體集成電路(IC)制造中，一般地，...
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