技術編號：6871188
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及分布反饋量子級聯(lián)激光器的波導和光柵的結構以及光柵的制備方法，屬于半導體光電子領域。背景技術 分布反饋量子級聯(lián)激光器可提供中遠紅外波段的可調(diào)諧單模激光，可以作為半導體吸收光譜的光源高靈敏度地檢測各種痕量氣體，如CO2、CH4、HCl、NO2、N2O等，因此在空氣質(zhì)量檢測、醫(yī)療診斷、工業(yè)控制等領域有重要的應用前景。為了應用的方便性和提高氣體檢測的靈敏度，分布反饋量子級聯(lián)激光器被要求工作在室溫連續(xù)的模式下。然而迄今為止，只有極個別波長的分布反饋量子級聯(lián)...
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