技術編號：6854961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于將半導體制造裝置和顯示器制造裝置等的加工室抽真空、或用于排出加工室中產生的氣體物質和/或副產品的組合干式真空泵。背景技術 總體上說，組合干式真空泵已經用于將半導體制造裝置和顯示器制造裝置等的加工室抽真空、或用于排出加工室中產生的氣體物質和/或副產品。羅茨轉子(roots rotor)、螺旋轉子或其組合用于上述的干式真空泵中。目前，組合干式真空泵包括具有至少一個葉片和至少一個螺旋轉子的至少一個羅茨轉子，以便保持加工室良好的真空度并降低動力成...
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