技術(shù)編號(hào)：6854020
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及用于使用大馬士革(damascene)工藝來制造柵線和接合(landing)接觸塞的方法。背景技術(shù) 一般地，半導(dǎo)體器件包括多個(gè)單位器件。隨著半導(dǎo)體器件已被高度集成，單位器件應(yīng)當(dāng)在固定單元區(qū)上高密度地形成。因此，單位器件即晶體管和電容器的尺寸已被減小。特別地，在例如動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)器件的半導(dǎo)體器件中，隨著設(shè)計(jì)規(guī)則已被減小，在單元內(nèi)部形成的半導(dǎo)體器件的尺寸也被減小。近來，半導(dǎo)體器件具有小于0.1μm的最小線寬。還需要甚至小于8...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。