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制造固態(tài)成像器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6849473

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背景技術(shù)方法本發(fā)明涉及一種用于制造具有減小的暗電流和穩(wěn)定的讀出電壓的固態(tài)成像器件的方法。2、相關(guān)技術(shù)介紹廣知具有掩埋型光電二極管結(jié)構(gòu)的固態(tài)成像器件,如JP57(1982)-062557A所介紹的。而且,在減小污點(smear)的嘗試中,廣泛地將如JP8(1996)-130299A中所描述的結(jié)構(gòu)應(yīng)用于固態(tài)成像器件。下文中,將描述一種典型的制造固態(tài)成像器件的常規(guī)方法。圖3是說明常規(guī)固態(tài)成像器件的主要部分的截面圖。圖4是在穿過光電元件分離部分的方向(元件分離方向...
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