技術(shù)編號：6840177
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明部分地涉及到高頻應(yīng)用的集成電路，它包含襯底、有源元件、和電感器，部分地涉及到制造這種集成電路的方法。 背景技術(shù) 集成電路的電感器，例如線圈，可以與集成電路分開或一起被制造在襯底上。在后一種情況下，通常借助于在用來連接集成電路中所含各個元件的一些上部金屬層中進行線圈圖形化而制造電感器。這些線圈的質(zhì)量因子受到所述襯底中感應(yīng)的渦流引起的襯底損耗的嚴(yán)重限制。局部清除電感器下方的襯底，可以降低渦流，然而，這意味著工藝技術(shù)很復(fù)雜，見WO 9417558和US 5...
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