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技術(shù)編號：6834976

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本發(fā)明涉及，例如可適用于晶體管或集成電路、存儲器的。背景技術(shù) 一直以來，作為一種制造半導(dǎo)體器件的技術(shù)，將具有MOS(MetalOxide Semiconductor)結(jié)構(gòu)等的器件形成在SOI(Silicon on Insulatingsubstrate)襯底上。并且，為將元件之間隔離，用pn結(jié)隔離或氧化膜隔離(例如LOCOS(Local Oxidation ofSilicon)法等)等。還有，在專利文獻1特開平10-209446號公報中公開了降低硅襯底中的...
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