技術編號：6807318
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種半導體的光發(fā)射與探測耦合組件，特別涉及一種具有垂直集成與光路自對準結構的半導體光發(fā)射與探測耦合組件?，F(xiàn)有半導體的光發(fā)射與探測耦合組件都是由半導體發(fā)光與光敏器件的分立小芯片組裝成的，它們的工藝復雜、成本昂貴，可靠性與靈敏度等性能均難達到理想的水平。但在另一方面，現(xiàn)有用分子束外延以及金屬有機物低壓汽相淀積等多薄層晶體生長工藝制造的半導體發(fā)光與光探測器件尚未形成單片的集成組件。本實用新型的目的是為克服現(xiàn)有技術的上述缺陷，利用現(xiàn)有多薄層晶體生長工...
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