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檢查裝置和檢查方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6754169

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本發(fā)明涉及一種檢查裝置(檢測(cè)裝置)和一種檢查方法(檢測(cè)方法),該裝置和方法用于檢測(cè)形成在一平面部件上的一突出部分的凸面的頂部位置和構(gòu)成該凸面的背表面的凹面的最深位置在一預(yù)定的XY-平面內(nèi)的位置偏差。背景技術(shù)當(dāng)例如在一平面金屬板上形成一突出部分時(shí),采用諸如壓制的方法,其中使用陽(yáng)模和陰模。當(dāng)用熔點(diǎn)較低的材料形成一具有一突出部分的平面結(jié)構(gòu)的部件時(shí),采用諸如注射成形的方法,其中使用陽(yáng)模和陰模。通常,在用這樣的成形方法獲得的突出(部分)中,假定其中形成該突出部分的平...
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