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前緣滑塊微致動(dòng)器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6746365

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本發(fā)明涉及將轉(zhuǎn)換頭精確定位在磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)盤(pán)片的選定磁道上的微致動(dòng)器,特別涉及在基片水平面上利用普通薄膜技術(shù)制造的壓電微致動(dòng)器,該技術(shù)用來(lái)在滑塊上制造轉(zhuǎn)換頭。 背景技術(shù) 隨著磁盤(pán)上同心數(shù)據(jù)磁道密度的日益提高,轉(zhuǎn)換頭定位精度也相應(yīng)提高。普通的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器在對(duì)轉(zhuǎn)換頭徑向定位時(shí),采用大刻度電機(jī)(例如音頻線圈電機(jī))操縱致動(dòng)器臂使轉(zhuǎn)換頭定位在致動(dòng)器臂端部的平衡環(huán)上。大刻度電機(jī)對(duì)于高磁道密度磁盤(pán)缺乏足夠的精度。因此需要高分辨率轉(zhuǎn)換頭定位機(jī)構(gòu)適應(yīng)密度更高的磁道。一種有希望...
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