技術(shù)編號(hào)：6571698
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及IC (集成電路)制造中由隨機(jī)缺陷引起的功能成品率的估計(jì)，更確切地，是確定制造工藝中隨機(jī)形狀的缺陷引起的芯片成品率損失的方法，其結(jié)果可用于預(yù)測(cè)和提高集 成電路芯片的成品率。背景技術(shù)成品率估計(jì)是半導(dǎo)體制造廠獲利的重要指標(biāo)。對(duì)新引進(jìn)的工藝線，成品率一般只有20%。 為了保證制造廠的效益，應(yīng)快速分析成品率損失原因。而在成品率損失原因探詢中，成品率 的精確估計(jì)是前提。對(duì)成熟的工藝線，在芯片研制及批量生產(chǎn)之前，通過成品率的精確估計(jì)， 采取措施如改變版圖形狀...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請(qǐng)注意，此類技術(shù)沒有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。