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版圖二劃分方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6436420

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本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)在主流微電子制造過(guò)程中,光刻是不可缺少的工藝,也是最復(fù)雜、最昂貴和最關(guān)鍵的工藝。集成電路制造過(guò)程中,往往需要采用幾十道光刻工序。目前,集成電路制造工藝的主流技術(shù)是采用紫外線(xiàn)包括遠(yuǎn)紫外線(xiàn)為光源的光刻技術(shù)。隨著芯片向體積更小,密度更大的方向發(fā)展,光刻技術(shù)也受到了新的挑戰(zhàn)。對(duì)于32nm/22nm的版圖,由于圖形尺寸過(guò)小,密度過(guò)大,在現(xiàn)有的光刻技術(shù)下會(huì)使光刻膠上的圖形發(fā)生形變,嚴(yán)重影響芯片制造的質(zhì)量。新的光刻技術(shù)包括超紫外線(xiàn)技術(shù)和浸入氟化...
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