技術(shù)編號：6396088
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種缺陷數(shù)據(jù)庫的建立方法，特別指一種應用于一自動缺陷分類(automatic defect classification，ADC)系統(tǒng)的缺陷數(shù)據(jù)庫建立方法。背景技術(shù) 在半導體制造過程中，往往會因為一些無法避免的原因而生成細小的微?；蛉毕?，而隨著半導體制造過程中元件尺寸的不斷縮小與電路積集度的不斷提高，這些極微小的缺陷或微粒對集成電路質(zhì)量的影響也日趨嚴重，因此為維持產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定，通常在進行各所述半導體制造過程的同時，亦須針對所生產(chǎn)的半導體元件進行...
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