技術編號：6302761
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及ー種數(shù)字式質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，尤其涉及ー種基于新型傳感器的流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)。背景技術目前，數(shù)字式的質(zhì)量流量控制器以其精度高、體積小、使用方便等特點廣泛應用于化工、微電子等領域。如圖I所示，質(zhì)量流量控制器(MFCs)用于對氣體質(zhì)量流量進行精密測量及控制，包括分流器I、傳感器2、電路板3、調(diào)節(jié)閥4。分流器、傳感器及電路板的測量部分組成了質(zhì)量流量控制器的流量測量單元，調(diào)節(jié)閥與電路板的控制部分組成了質(zhì)量流量控制器的控制単元。質(zhì)量流量控制器的控制單元接收到輸...
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