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控制設(shè)備的運動尤其是芯片鍵合設(shè)備的放置工具的運動的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6289672

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本發(fā)明屬于自動化。本發(fā)明涉及根據(jù)獨立權(quán)利要求的前序部分所述的控制設(shè)備的運動的方法,尤其是控制芯片鍵合設(shè)備的放置工具的運動的方法。背景技術(shù)運動控制系統(tǒng)將軸運動有規(guī)律地實施為連接的三次樣條,S卩,連接的在時間上限定各運動段的三階多項式。當(dāng)與低階多項式相比時,所產(chǎn)生的軌跡X(t) = (Xl(t),...,其中N表示待控制的運動的自由度的數(shù)量-在各處都具有有限的、受限的躍度并且限制高頻能量輸入被控系統(tǒng)。術(shù)語躍度指的是加速度相對于時間的導(dǎo)數(shù)。各運動段易于通過有限的...
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