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燃料電池內(nèi)部濕度-熱流密度-電流密度聯(lián)測(cè)傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6247887

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本發(fā)明公開的燃料電池內(nèi)部濕度-熱流密度-電流密度聯(lián)測(cè)傳感器,屬于燃料電池內(nèi)部參數(shù)測(cè)量領(lǐng)域,其濕度-熱流密度-電流密度聯(lián)測(cè)傳感器布置在燃料電池流場(chǎng)板的脊上,由十層薄膜構(gòu)成,主要采用真空蒸發(fā)鍍膜方法制作首層為二氧化硅絕緣層,第二層為上電極鋁鍍層,第三層涂覆高分子聚合物感濕介質(zhì),第四層為下電極鋁鍍層,第五、六層為薄膜熱流計(jì)銅鍍層和鎳鍍層,第七層為二氧化硅保護(hù)層,第八層為二氧化硅厚熱阻層,第九、十層為電流密度測(cè)量銅鍍層和金鍍層。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對(duì)燃料電池內(nèi)部濕度、熱流...
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