技術(shù)編號：6247572
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種智能真空器件在線檢測方法及其裝置，包括設于真空密封腔體上并且一端與真空密封腔體內(nèi)部連通的連接管，以及與連接管另一端連通的波紋管，波紋管遠離連接管的另一端上固定一光感應裝置，另設有光發(fā)射裝置和光接收裝置，光發(fā)射裝置發(fā)射光信號連續(xù)監(jiān)測該光感應裝置的位置并將其傳輸給光接收裝置，光接收裝置將接收的光信號通過光纜傳輸給中央處理器。該智能真空器件在線監(jiān)測裝置持續(xù)監(jiān)控真空器件的真空度變化，在產(chǎn)品失效前及時發(fā)出警告，提醒工作人員采取措施，避免事故發(fā)生。不僅...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。