技術編號：6230050
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種基于聲表面波的具有溫度補償?shù)母袦y加速度傳感器，包括密封連接的殼體和殼蓋，還包括壓電基片、壓電薄膜、基座和三個聲表面波諧振器，壓電薄膜設在壓電基片的上表面，基座固定在殼體內(nèi)的底面上，壓電基片的一端為固定端，另一端為懸伸端，壓電薄膜的一端和壓電基片的固定端均固定在基座上，且高于殼體內(nèi)的底面；至少有一個聲表面波諧振器設在壓電薄膜的上表面，剩余的聲表面諧振器設在壓電薄膜和壓電基片之間；三個聲表面波諧振器諧振頻率各不相同；三個聲表面波諧振器所產(chǎn)生的聲表...
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