技術(shù)編號(hào)：6228710

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明公開一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，包括正方形框架和架設(shè)于所述正方形框架中央的“井”字形懸梁臂，所述“井”字形懸梁臂的各段梁由寬段和對(duì)稱設(shè)置于所述寬段兩側(cè)的窄段組成，所述窄段上分別設(shè)置有阻值相等的壓敏電阻，所述壓敏電阻共形成兩組惠斯通全橋，所述兩組惠斯通全橋分別測(cè)量?jī)蓚€(gè)相互垂直方向上的水生信號(hào)，各個(gè)正方形連接體上均固定的設(shè)置有垂直纖毛。本發(fā)明利用MEMS技術(shù)將四根仿生纖毛集成在一個(gè)芯片上，并且采用“井”字形懸梁臂結(jié)構(gòu)，通過各段梁窄-寬-窄...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請(qǐng)聯(lián)系客服

• 邢老師：1.機(jī)械設(shè)計(jì)及理論 2.生物醫(yī)學(xué)材料及器械 3.聲發(fā)射檢測(cè)技術(shù)。
• 王老師：1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
• 王老師：1.機(jī)器人 2.嵌入式控制系統(tǒng)開發(fā)
• 張老師：1.機(jī)械設(shè)計(jì)的應(yīng)力分析、強(qiáng)度校核的計(jì)算機(jī)仿真 2.生物反應(yīng)器研制 3.生物力學(xué)
• 趙老師：檢測(cè)與控制技術(shù)、機(jī)器人技術(shù)、機(jī)電一體化技術(shù)
• 趙老師：1.智能控制理論及應(yīng)用 2.機(jī)器人控制技術(shù) 3.新能源控制技術(shù)與應(yīng)用
• 張老師：激光與先進(jìn)檢測(cè)方法和智能化儀表、圖像處理與計(jì)算機(jī)視覺