技術(shù)編號：6225001
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種，包括制作具有三角形截面的硅納米線溝道的硅納米線隧穿場效應(yīng)晶體管的步驟、于所述硅納米線溝道表面進(jìn)行試劑修飾形成活性薄膜以及于所述活性薄膜表面形成捕獲探針的步驟。本發(fā)明工藝過程簡單，可控性強(qiáng)，與現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝完全兼容；成本較低，適于批量生產(chǎn)；器件具有雙極特性，對雙向檢測結(jié)果進(jìn)行對照，保證檢測的準(zhǔn)確性，特別適合生化分子檢測的應(yīng)用。另外，本發(fā)明的硅納米線傳感器中納米線為三角形截面，該結(jié)構(gòu)與其他納米線結(jié)構(gòu)（如圓柱，梯形截面）相比，比表面積更大，調(diào)制效...
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