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一種微機(jī)械器件的載荷疲勞性能測試系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6219096

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本發(fā)明公開一種微機(jī)械器件的載荷疲勞性能測試系統(tǒng),包括微機(jī)械器件、表征設(shè)備(1)、接口設(shè)備(2)、測試設(shè)備(3),接口設(shè)備(2)將微機(jī)械器件放于表征設(shè)備(1),其特征在于所述接口設(shè)備(2)包括電學(xué)接頭(6)和光纖接頭(7),通過電學(xué)接頭(6)或通過光纖接頭(7)將信號(hào)施加至微機(jī)械器件,微機(jī)械器件在測試設(shè)備(3)的驅(qū)動(dòng)下發(fā)生形變;另外可以將微機(jī)械器件固定于電極(14)上,微納米結(jié)構(gòu)體(17)固定于微機(jī)械器件末端,測試設(shè)備驅(qū)動(dòng)微機(jī)械器件的擺動(dòng),進(jìn)而控制微納米結(jié)構(gòu)...
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