技術(shù)編號：6190767

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本發(fā)明涉及一種基于激光掃描熱波成像技術(shù)的膜層厚度檢測方法，采用高功率線狀激光束對試件表面進行快速掃描，掃描方式可以是多次重復(fù)掃描，激光束的幀掃描與熱像儀幀掃描之間有一個相對延遲量，并且延遲量在逐步改變，從而實現(xiàn)對試件的熱波信號進行高速采集。將得到的被測試件的熱波信號變化曲線與理論模型進行擬合，從而得到被測試件的厚度。本發(fā)明通過上述技術(shù)方案，采用激光掃描方式進行高幀頻采集，實現(xiàn)對較薄膜層的厚度檢測。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種基于熱波成像技術(shù)的膜厚測量...
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