技術編號：6181086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明，涉及中子輻射的測量，是氮化鎵中子探測器，自下至上包括歐姆接觸、n+摻雜氮化鎵層、氮化鎵厚膜基底、肖特基接觸、保護環(huán)和6LiF中子轉換層，其中，n+摻雜氮化鎵層形成在氮化鎵厚膜基底的氮極性面，歐姆接觸被制作在n+摻雜氮化鎵層上面，肖特基接觸被制作在氮化鎵厚膜基底的鎵極性面上的中間部分，保護環(huán)被制作在氮化鎵厚膜基底的鎵極性面上肖特基接觸四周的環(huán)形部分，6LiF中子轉換層被制作在肖特基接觸的上面，位于肖特基接觸的中央部位。本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術的中子探測器...
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