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微電子磁力檢測(cè)器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6173969

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本發(fā)明公開了一種微電子磁力檢測(cè)器,包括磁性檢測(cè)元件、磁感應(yīng)線圈、能將磁力狀態(tài)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的輸出磁力模塊、磁力反饋模塊、外接設(shè)備電路板和電磁芯片,所述磁性檢測(cè)元件與輸出磁力模塊相連接,所述輸出磁力模塊和磁力反饋模塊含有磁感線線圈,所述外接設(shè)備電路板與電磁芯片相連接。通過上述方式,本發(fā)明微電子磁力檢測(cè)器,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,能檢測(cè)器件的磁力性能大小,檢測(cè)精度高。專利說明微電子磁力檢測(cè)器[0001]本發(fā)明涉及微電子領(lǐng)域,特別是涉及ー種微電子磁力檢測(cè)器。背景技術(shù)[...
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