技術編號：6166722
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于測量或者探測機械量或者動態(tài)量的微機械機構(gòu)，其包括能夠變形的膜片(20)和支撐基板(10)，所述膜片(20)包括第一部分(20a)和由所述第一部分(20a)包圍的第二部分(20b)，所述第二部分(20b)的厚度小于所述第一部分(20a)的厚度，所述膜片(20)懸置在所述支撐基板(10)之上，并且因此限定了自由空間(30)，所述微機械機構(gòu)還另外包括下鄰接支座(21)，所述下鄰接支座(21)用于限制所述膜片(20)的變形，所述下鄰接支座(21)...
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