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摻雜失效的分析方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6163204

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本發(fā)明公開(kāi)了一種,包括步驟提供一良品硅片;對(duì)良品硅片和待測(cè)樣品硅片進(jìn)行處理直至露出襯底表面;將良品硅片和待測(cè)樣品硅片分別放置在一導(dǎo)電底座上并用錫焊固定;分別在良品硅片和待測(cè)樣品硅片上選定一測(cè)試圖形;進(jìn)行測(cè)試條件設(shè)置;采用單針?lè)謩e對(duì)良品硅片和待測(cè)樣品硅片上的測(cè)試圖形進(jìn)行認(rèn)證測(cè)試;對(duì)良品硅片和待測(cè)樣品硅片的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行比較并判斷待測(cè)樣品硅片的摻雜是否失效。本發(fā)明能準(zhǔn)確快速驗(yàn)證摻雜相關(guān)的失效,能大大減少測(cè)試圖形尺寸、實(shí)現(xiàn)小尺寸圖形的摻雜失效分析,能大大節(jié)省芯片失...
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