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壓力傳感器模塊及電子部件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6154253

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本發(fā)明涉及一種壓力傳感器模塊,具體地說(shuō),是涉及一種對(duì)于利用 膜片部感知壓力的壓力傳感器使其特性變動(dòng)小的模塊構(gòu)造以及能夠高 密度且小型地封裝該壓力傳感器和ASIC ( Application Specific Integrated Circuit專用集成電路)及其他半導(dǎo)體器^的構(gòu)造。背景技術(shù)壓力傳感器被使用于家電產(chǎn)品、醫(yī)療器械、汽車部件等各種各樣的 領(lǐng)域,其中,由于半導(dǎo)體壓力傳感器小型且具有高可靠性,所以其用途 正日益擴(kuò)大.特別是最近,為了將壓力傳感器搭載到...
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