技術(shù)編號(hào)：6143594
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及檢查裝置、檢査方法和程序，其用于特別是在半導(dǎo)體元件、液晶顯示元件等的制造過(guò)程中檢查樣品表面上的缺陷。 背景技術(shù)傳統(tǒng)地，已經(jīng)提出了如下的各種的裝置，所述裝置利用從 形成在半導(dǎo)體晶圓或液晶基板(通常稱(chēng)為"樣品")的表面上的圖案生 成的衍射光來(lái)檢測(cè)在樣品表面上的缺陷例如不平坦或瑕疵。特別地， 近年來(lái)，通過(guò)半導(dǎo)體工藝的小型化，在樣品的缺陷控制中也需要更高 的精度。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)了一種電子電路部件檢査裝置，該 裝置基于提前確定的好的基準(zhǔn)顏色數(shù)據(jù)和基于...
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