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電子部件試驗(yàn)裝置用接口裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6130139

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本發(fā)明涉及接口裝置,其裝在用于進(jìn)行半導(dǎo)體集成電路元件等各種電子部件(以下代表性統(tǒng)稱為IC器件)的試驗(yàn)的測(cè)試頭上,中繼 IC器件和測(cè)試頭之間的電連接。背景技術(shù)為了在IC器件等電子部件的制造過程中以在晶片上制造裝入的 狀態(tài)或被封裝的狀態(tài)對(duì)IC器件的性能或功能進(jìn)行試驗(yàn),而使用電子部件試驗(yàn)裝置。該電子部件試驗(yàn)裝置利用處理器(Handler)或探測(cè)器(Prober) 將IC器件與測(cè)試頭電連接,用測(cè)試器(Tester)進(jìn)行試驗(yàn)。在測(cè)試頭 的上部設(shè)有用于中繼IC器件和測(cè)...
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