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一種柵狀電極位移傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6129729

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本發(fā)明涉及一種測量直線位移與角位移的傳感器,尤其涉及具有柵狀 電極的容柵位移傳感器和磁柵位移傳感器。背景技術(shù)柵狀電極位移傳感器具有體積小、功耗低、可長程測量等優(yōu)點,在位 移檢測中得到了廣泛的應(yīng)用。柵狀電極位移傳感器的分辨率取決于相鄰柵極的間距。通常的8路驅(qū)動鑒相式容柵傳感器的分辨率為O.Olmm,相鄰 發(fā)射電極柵條的間距為0.635ram, 一組柵極為8根,實際傳感器用多組柵 極并聯(lián),組間距為5.08ram,將各組中相同相位的電極互聯(lián),目前常規(guī)是 用印刷線...
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