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一種高靈敏度觸覺傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6118899

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本實(shí)用新型涉及一種高靈敏度的觸覺傳感器裝置??捎糜谥嗅t(yī)臨床脈象檢測(cè)、人體脈搏健康狀態(tài)監(jiān)測(cè)和中醫(yī)脈象研究分析等中國(guó)傳統(tǒng)醫(yī)學(xué)領(lǐng)域;也可用于液面或平面微動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人及自動(dòng)化控制等領(lǐng)域中的觸覺檢測(cè)。背景技術(shù)目前,用于脈象檢測(cè)及類似脈動(dòng)的微小振動(dòng)或觸動(dòng)檢測(cè)的傳感器大多都是直接通過(guò)壓電元件或者應(yīng)變電阻來(lái)實(shí)現(xiàn)的。它們的檢測(cè)靈敏度受元件本身以及整個(gè)傳感器裝置結(jié)構(gòu)和加工制作工藝的限制,檢測(cè)效果均不理想。市面上有一種駐極體電容,它集微機(jī)械加工和IC微電子技術(shù)于一體,加上大批...
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