技術(shù)編號：6115223
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種兩坐標(biāo)軸定位裝置，特別涉及一種大運(yùn)動范圍高速精密兩坐標(biāo)軸定位裝置。背景技術(shù) 隨著集成電路(IC)制造、微型機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)、精密測試系統(tǒng)和精密加工等領(lǐng)域的快速發(fā)展，迫切需要能夠進(jìn)行大運(yùn)動范圍、高精度、高速定位的裝置。特別是在IC制造方面，隨著晶片尺寸的增加，12寸及更大尺寸晶片的出現(xiàn)，對定位范圍、定位速度也提出了更高的要求?，F(xiàn)有的兩坐標(biāo)軸定位裝置包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)電機(jī)；兩套驅(qū)動滾珠絲杠系統(tǒng)，每個(gè)坐標(biāo)軸所驅(qū)動的平臺采用窄平臺結(jié)構(gòu)即平臺寬度＜2...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。