技術(shù)編號：6113745

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本發(fā)明涉及微納米測量領(lǐng)域，更具體地說特別是涉及一種應(yīng)用在納米三坐標(biāo)測量機中的高精度大量程三維微納米接觸掃描探頭。背景技術(shù)隨著微納加工技術(shù)的發(fā)展，尺寸介于毫米和微米之間的微型器件相繼問世，如微透鏡、微齒輪、微芯片、燃油噴油嘴等；微器件的形狀日趨復(fù)雜，允許的尺寸公差越來越小， 因此在實踐中迫切需要具有納米級測量精度的三坐標(biāo)測量機。納米三坐標(biāo)測量機主要由具有納米定位測量功能的三維運動平臺和具有感測功能的探頭兩部分組成。探頭分接觸式和非接觸式兩種，接觸式探頭可以用...
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