技術(shù)編號：6113745
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微納米測量領(lǐng)域，更具體地說特別是涉及一種應(yīng)用在納米三坐標(biāo)測量機中的高精度大量程三維微納米接觸掃描探頭。背景技術(shù)隨著微納加工技術(shù)的發(fā)展，尺寸介于毫米和微米之間的微型器件相繼問世，如微透鏡、微齒輪、微芯片、燃油噴油嘴等；微器件的形狀日趨復(fù)雜，允許的尺寸公差越來越小， 因此在實踐中迫切需要具有納米級測量精度的三坐標(biāo)測量機。納米三坐標(biāo)測量機主要由具有納米定位測量功能的三維運動平臺和具有感測功能的探頭兩部分組成。探頭分接觸式和非接觸式兩種，接觸式探頭可以用...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。