技術(shù)編號：6110791

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

本發(fā)明一般地涉及形成半導(dǎo)體器件，并具體地涉及檢測用于制造 半導(dǎo)體器件的漿料的方法。背景技術(shù)化學(xué)機械拋光(CMP)是在半導(dǎo)體工業(yè)中用于平坦形成在半導(dǎo)體 襯底上的層的傳統(tǒng)工藝。在CMP期間，拋光墊和漿料置于與被拋光的 層接觸的地方且拋光墊相對晶片旋轉(zhuǎn)。使用的漿料是同質(zhì)的且具有良 好質(zhì)量很重要。例如，如果當(dāng)拋光墊旋轉(zhuǎn)的時候漿料顆粒聚集，那么 漿料顆粒會劃破拋光層且還引起了殘留顆粒和其他表面缺陷。為了避免缺陷問題，半導(dǎo)體制造商需要確保漿料品質(zhì)滿足CMP的 需要。這...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

詳細技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 邢老師：1.機械設(shè)計及理論 2.生物醫(yī)學(xué)材料及器械 3.聲發(fā)射檢測技術(shù)。
• 王老師：1.數(shù)字信號處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機械工程測試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
• 王老師：1.機器人 2.嵌入式控制系統(tǒng)開發(fā)
• 張老師：1.機械設(shè)計的應(yīng)力分析、強度校核的計算機仿真 2.生物反應(yīng)器研制 3.生物力學(xué)
• 趙老師：檢測與控制技術(shù)、機器人技術(shù)、機電一體化技術(shù)
• 趙老師：1.智能控制理論及應(yīng)用 2.機器人控制技術(shù) 3.新能源控制技術(shù)與應(yīng)用
• 張老師：激光與先進檢測方法和智能化儀表、圖像處理與計算機視覺