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用于地震儀或其它裝置中的具有完整檢測(cè)質(zhì)塊的改進(jìn)微機(jī)械懸浮板的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6109080

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本發(fā)明通常涉及地震儀。具體地說,本發(fā)明涉及一種可以用于地震儀(速度計(jì))、加速計(jì)、或其它類似裝置中的具有完整檢測(cè)質(zhì)塊(proofmass)的改進(jìn)的微機(jī)械懸浮板及其制造方法。背景技術(shù) 題為“微機(jī)械加速計(jì)”的美國(guó)專利申請(qǐng)No.10/058,210于2002年1月5日提交,其公布了加速計(jì)或地震儀的一種新穎結(jié)構(gòu),其利用具有懸浮板和至少一個(gè)固定電容板的平面內(nèi)懸掛幾何結(jié)構(gòu)。與利用彈簧將一獨(dú)特的檢測(cè)質(zhì)塊支撐在外框架上的傳統(tǒng)地震儀相對(duì)照,微機(jī)械懸浮板由一種材料制成,包括外框...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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