技術(shù)編號(hào)：6109043
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的涉及傳感器，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及慣性傳感器。背景技術(shù) 慣性傳感器，諸如MEMS陀螺儀，通常會(huì)受到驅(qū)動(dòng)頻率中的旋轉(zhuǎn)振動(dòng)(通常稱為“擺動(dòng)”(wobble))的不利影響。特別是，如果MEMS陀螺儀不能區(qū)分旋轉(zhuǎn)振動(dòng)與旨在檢測(cè)的實(shí)際運(yùn)動(dòng)，MEMS陀螺儀就可能產(chǎn)生錯(cuò)誤的讀數(shù)。而且，具有振動(dòng)質(zhì)量體、例如陀螺儀的MEMS裝置的形狀畸變會(huì)對(duì)橫向于縱向驅(qū)動(dòng)指狀物(drive finger)的力產(chǎn)生不平衡。這種不平衡會(huì)引起不能與科里奧利(Coriolis)力相區(qū)別的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。