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一種微流控芯片分析儀及配套芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6101222

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本發(fā)明涉及一種微流控芯片分析儀,尤其涉及采用激光照射驅(qū)動待測液體流動的微流控芯片分析儀以及配套的專用芯片。背景技術(shù) 目前,微流控芯片是以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,其材料選擇和通道設(shè)計是微流控芯片以及相應(yīng)分析儀技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵因素。最初的微流控芯片是利用光刻、濕腐蝕技術(shù)、電感耦合等離子體刻蝕等技術(shù)在玻璃、石英、硅片上刻蝕出微通道。但是,以玻璃、石英、硅片為基質(zhì)來制作微流控芯片技術(shù)工藝復(fù)雜、冗長、步驟煩瑣、成本高。近年來,微流控芯片多采用高分子材料,例如剛性的聚甲基...
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