技術(shù)編號：6091198
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微電機(jī)裝置，具體地說，涉及能夠檢測沿著三個正交軸的加速度的電容微電機(jī)加速計。背景技術(shù) 目前，制造微電機(jī)加速計以用于許多應(yīng)用，包括車輛氣囊和慣性導(dǎo)航以及指引系統(tǒng)。對于諸如車輛氣囊的應(yīng)用，加速計需要既準(zhǔn)確又便宜。使用與在集成電路制造中使用的制造處理步驟相似或相同的制造處理步驟，電機(jī)加速計被形成在晶片上。微電機(jī)裝置將電子和機(jī)械功能組合進(jìn)一個裝置。微電機(jī)裝置的制造一般基于多晶硅(polysilicon)和犧牲材料(諸如二氧化硅(SiO2)或硅酸鹽玻璃...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。