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薄膜檢查裝置及其方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6085989

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本發(fā)明涉及在太陽能電池、顯示器等中適用的光電轉(zhuǎn)換薄膜裝置中進(jìn)行薄膜的檢查的薄膜的檢查裝置及其方法。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中,在太陽能電池等光電轉(zhuǎn)換薄膜裝置中,為了使發(fā)電效率提高,提出有在透明玻璃基板與透明導(dǎo)電膜之間設(shè)置用于使反射率降低的反射率調(diào)整層的方案。該反射率調(diào)整層可以是單層,也可以由多個層構(gòu)成,此外,基于一般所知的菲涅耳反射的多重干涉膜的解析,設(shè)計各層的材料的折射率和膜厚。該反射率調(diào)整層還具有以下功能消除氧化錫 (SnO2)、ΙΤ0、氧化鋅(摻雜鎵、摻雜鋁...
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