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共光路徑向剪切數(shù)字波面干涉儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6027086

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)干涉儀波面檢測(cè)裝置,具體涉及一種共光路徑向剪切數(shù)字波面干涉儀。背景技術(shù)干涉儀是一種依據(jù)光的干涉原理,以光的波長(zhǎng)為計(jì)量單位的光學(xué)測(cè)試儀器。許多精密測(cè)試工作,都是依靠光干涉方法實(shí)現(xiàn)的,對(duì)于某些測(cè)試任務(wù)的解決,干涉法甚至是唯一可行的理想方法。經(jīng)典的光學(xué)干涉儀器以光機(jī)型為主,只能定性的觀察、人工判斷干涉圖中所包含的誤差信息?,F(xiàn)代干涉儀是在經(jīng)典干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的精密光學(xué)檢測(cè)儀器。其基本特征是采用激光光源并且綜合應(yīng)用了光學(xué)、電子學(xué)、精密機(jī)械與控...
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