技術(shù)編號(hào)：6025117
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)干涉檢測是一種檢測光學(xué)元件或光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生的波像差的高精度檢測方法。菲索型干涉儀是一種進(jìn)行干涉檢測的設(shè)備，檢測時(shí)配備相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。菲索型干涉儀內(nèi)部主要包括激光器、濾波器、擴(kuò)束鏡、準(zhǔn)直鏡、分光棱鏡、CCD接收器等元器件，工作時(shí)對(duì)外發(fā)出平行光束，同時(shí)接收干涉條紋所成像點(diǎn)，并通過相移技術(shù)解讀干涉條紋，得到返回波前的波像差。標(biāo)準(zhǔn)鏡頭由會(huì)聚鏡和參考面組成，分為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭和球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭兩種平面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭用于檢測平面波前的波像差，其中會(huì)聚鏡為一...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。