技術(shù)編號(hào):6012957
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種流體傳感器,更確切地說(shuō),是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的同時(shí)測(cè)量流體密度、壓力和溫度的集成流體傳感器。背景技術(shù)密度是流體的一個(gè)重要的參數(shù)指標(biāo),在石化、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域中,流體密度測(cè)量的準(zhǔn)確性直接決定著生產(chǎn)成本和產(chǎn)品的質(zhì)量。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMQ技術(shù)的發(fā)展,基于硅微芯片的流體密度傳感器得到了廣泛研究。然而,目前的流體密度傳感器在測(cè)量流體密度的同時(shí)忽略了影響流體密度的其他因素,比如流體的溫度和環(huán)境壓力。同一種流體在不同的溫度和壓力下密度不...
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