技術編號：5965344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在半導體器件晶圓測試過程中進行多管芯并行測試時，一種跳格 式垂直式探針卡制作方法，屬于半導體測試。背景技術隨著半導體工藝技術的進步，12時晶圓已經(jīng)用于生產(chǎn)，晶圓面積增加了，一個晶圓 上可以制作幾千個或上萬個管芯，為了通過單位時間內(nèi)增加被測管芯的數(shù)量來提高測試機 的吞吐率，減少測試機閑置資源，提高測試設備的利用率，減低測試成本，通常采用多管芯 并行測試技術，多管芯并行測試技術是指在一臺測試機上可同時對多個半導體管芯進行全 自動檢測，通過專門設計...
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