技術(shù)編號：5959763
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及干涉式膜厚計。背景技術(shù)作為對膜的膜厚進(jìn)行測量的裝置，已知利用光的干涉現(xiàn)象的干涉式膜厚計(例如參照專利文獻(xiàn)I。)。針對干涉式膜厚計的測量原理進(jìn)行說明。當(dāng)向透明的測量對象照射光時，從表面及背面返回來反射光。此時，彼此的反射光進(jìn)行干涉，在某個波長處變強(qiáng)，在某個波長處變?nèi)?。變?qiáng)的波長和變?nèi)醯牟ㄩL由測量對象膜的膜厚和折射率決定。由此，可根據(jù)反射光譜的干涉條紋的間隔來計算膜厚。圖18是現(xiàn)有的干涉式膜厚計的示意的構(gòu)成圖。膜厚計具備光源101、投光用光纖103、...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。