技術(shù)編號(hào)：5949005
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電容型動(dòng)態(tài)量傳感器，用于通過檢測電容的變化來檢測動(dòng)態(tài)物理量，如加速度或角速度，所述變化伴隨通過使用半導(dǎo)體過程來制造的結(jié)構(gòu)的任何位移；并涉及其制造方法。背景技術(shù) 迄今為止，已知有一種靜電電容型動(dòng)態(tài)量傳感器。對于這樣的傳感器，依照外部施加的加速度或角速度而移位的重物以及用于支撐該重物的梁被形成于半導(dǎo)體基片內(nèi)以檢測所述重物的可移動(dòng)電極和被形成于距離可移動(dòng)電極的微小間隔處的固定電極之間的靜電電容的變化(例如，參考JP 08-094666A)。圖5是其...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。