技術(shù)編號：5942154
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有觸針式探頭的形狀測量設(shè)備及其形狀測量方法，所述探頭能夠以納米級高精度測量例如透鏡和反射鏡之類的光學(xué)元件、以及用于制造光學(xué)裝置的模具的表面形狀。更特別地，本發(fā)明涉及能夠測量具有大傾斜角的形狀，例如從水平面豎直立起的剪力墻表面的形狀測量設(shè)備。背景技術(shù)通常，作為測量具有三維形狀的被測對象的表面的特定部分的坐標(biāo)或形狀的形狀測量方法，使用稱作探頭的觸針的測量方法為人們所知。根據(jù)這種測量方法，允許探頭以預(yù)定接觸力按壓被測對象的表面的同時追蹤被測對象的表面...
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